一、行業簡介
半導體、集(jí)成(chéng)電路芯片及封裝(zhuāng)、液晶顯示、高精(jīng)度線路板、光電器件、各種電子(zǐ)器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的(de)純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄(zhǎi),對水質的要求也越(yuè)高。目前我國電子工業部把電子(zǐ)級水質技術分為五個行業等級(jí),分別為(wéi)18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
二、應用範圍
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材(cái)、造漆、蓄電池、化(huà)驗、生物、製藥、石油、化(huà)工、鋼鐵、玻(bō)璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半導體芯片、半導體封裝 、引線櫃架、集(jí)成電路、液(yè)晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件(jiàn)、電(diàn)容器潔淨產品及各種元器件等生產工藝用純水。
三、工藝簡介
1、係統模塊化設計,共分四部分:預處理係統、反滲透係統、EDI係統、終端供(gòng)水係統。
2、預處(chù)理係統主要用來去除原水中的懸浮物、濁度、色度、膠體(tǐ)以及部分有機物,保證產水符合反滲透係(xì)統的進水(shuǐ)水質要求。
3、反滲透係統主要用來去除原水中溶解性(xìng)鹽類(lèi)物質、細菌、熱源等,保證產水符合EDI係統進水水質要求。
4、EDI係統主要用來對反滲透產水進(jìn)行進一(yī)步脫除溶解性的小(xiǎo)分子鹽類物質,產(chǎn)水(shuǐ)達(dá)到電阻率達到15MΩ.cm以上(shàng)。
5、終端(duān)供水係統主要是用來將合格水輸送至用水點(diǎn),輸送過程中對EDI產生進(jìn)行最後的離子交(jiāo)換脫(tuō)鹽,使得產水達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集中控製。
四、技術特色
1、係統模塊化設(shè)計(jì),占地(dì)麵積小,操作維護方便,安裝方便快捷(jié),整體美觀(guān)。
2、整套係統(tǒng)實現全自動化運行,並且手動與自動自由(yóu)切換。
3、設備產水水質穩定,運行連續穩定。
4、係統工藝先進,無需化學(xué)藥品再生,無危害性廢液排放。
5、係統節水率高,係統回收率在(zài)75%以上。
6、關鍵部位采用在線儀表監測,適時數據上傳。
五、設備參數
1、係統回收(shōu)率:
超濾≥90%
一級反滲透≥75%
二級(jí)反(fǎn)滲透≥85%
EDI係統≥90%
2、設備產水符合《電子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半(bàn)導體工業純(chún)水(shuǐ)指標。
3、單支(zhī)膜(mó)脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。